通過經驗判斷、技術診斷或其他方法調查確定危險源（即危險因素存在于哪個子系統中），對所需分析系統的生產目的、物料、裝置及設備、工藝過程、操作條件以及周圍環境等，進行充分詳細的了解；根據過去的經驗教訓及同類行業生產中發生的事故或災害情況，對系統的影響、損壞程度，類比判斷所要分析的系統中可能出現的情況，查找能夠造成系統故障、物質損失和人員傷害的危險性，分析事故或災害的可能類型；
ETA的分析步驟如下：（1）確定初始事件初始事件一般指系統故障、設備失效、工藝異常、人的失誤等，它們都是由事先設想或估計的。確定初始事件一般依靠分析人員的經驗和有關運行、故障、事故統計資料來確定；對于新開發系統或復雜系統，往往先應用其他分析、評價方法從分析的因素中選定，再用事件樹分析方法做進一步的重點分析。
將裝置劃分為不同類型的一些單元就能對裝置不同單元的危險特性進行評價。否則，整個裝置或裝置的大部分就會帶有其中危險單元的特征。此外，通過單元劃分，可對裝置中危險的單元向其他投資多的單元發生事故蔓的界限加以考慮。裝置區中主要配管橋不同于裝置工藝或貯存單元，應作為—個獨立單元來考慮，其危險性主要是支柱或架設在架臺間的管橋長度及在其上支撐的鋼管。
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